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介绍一种对机械振动等环境干扰不敏感的表面粗糙度非接触测量仪,在不采取任何隔振措施的一般实验室环境中,就能以优于1nm的测量精度对各种精密加工表面的粗糙度参数进行测量,可显示并打印表面二维轮廓曲线,三维形貌图,以及立体感很强的表面微分干涉图象。
表面粗糙度非接触测量仪
【摘 要】
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介绍一种对机械振动等环境干扰不敏感的表面粗糙度非接触测量仪,在不采取任何隔振措施的一般实验室环境中,就能以优于1nm的测量精度对各种精密加工表面的粗糙度参数进行测量,
【机 构】
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清华大学精密仪器系
【出 处】
：
现代科学仪器
【发表日期】
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1993年2期
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