聚酰亚胺(PI)薄膜电容型湿度传感器的研制

来源 :应用科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ljn3125678

【摘要】

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<正> 高分子薄膜湿度传感器是当今可实用的性能较优越的一类湿度传感器.一般所用的感湿材料,以醋酸纤维系为主（CA,CAB）.聚酰亚胺（PI）于六十年代开始用作电器绝缘材料,七十年代用

【作者】

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骆如枋陆玉萍边伟勇朱庆杨陈羽男李晓红张建安

【机构】

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中国科学院上海治金研究所,中国科学院上海治金研究所,中国科学院上海治金研究所,上海手表五厂,上海手表五厂,上海手表五厂,上海手表五厂

【出处】

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应用科学学报

【发表日期】

：

1993年01期

【关键词】

：

湿度传感器薄膜聚合物

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<正> 高分子薄膜湿度传感器是当今可实用的性能较优越的一类湿度传感器.一般所用的感湿材料,以醋酸纤维系为主（CA,CAB）.聚酰亚胺（PI）于六十年代开始用作电器绝缘材料,七十年代用于微电子器件的表面钝化和PMP技术的多层布线,八十年代起替代SiO₂作电子器件绝缘介质.1982年后应用于湿度传感器作为感湿材料.与醋酸纤维系材料相比,PI具有以下特点:

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