【摘 要】
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提升LED晶圆亮度的方法主要有调整外延层结构、改变生长外延时的工艺参数、调整ITO的厚度、改变SiO2厚度、倒装结构、垂直结构、光子晶体、ODR,DBR、调整芯片厚度、降低晶圆
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提升LED晶圆亮度的方法主要有调整外延层结构、改变生长外延时的工艺参数、调整ITO的厚度、改变SiO2厚度、倒装结构、垂直结构、光子晶体、ODR,DBR、调整芯片厚度、降低晶圆背面粗糙度、改变切割方式等。文章主要介绍小功率产品通过调整厚度从而实现亮度提升,同时验证厚度调整是否会对芯片的其他性能产生影响。
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