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采用辉光放电质谱法测定超高纯锌中25种痕量杂质元素,考虑到灵敏度和分辨率的需求,对元素的测定条件进行了优化选择.考察了在半定量分析的情况下辉光放电质谱法(GDMS)测定痕量杂质的精密度.含量在0.000x mg/kg水平的元素测定相对标准偏差(RSD)在60％左右,含量在0.00x mg/kg水平以上的元素测定的RSD在40％以下,个别元素如Cd,Fe的RSD可以达到约10％的水平;Fe,Cd,Pb三元素测定结果与电感耦合等离子体质谱定量分析结果接近.结果 表明:该方法可满足7N超高纯锌产品的检测需求.