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设计了一种新型的柔性微位移放大机构，它利用杠杆原理进行放大，结构上通过将多层单元结构进行叠加形成层叠式的新型结构，其将普通平面柔性机构和立体柔性机构融为一体。其结构紧凑，无传动间隙，克服了平面式机构复杂、占地面积大以及立体柔性结构难以加工的缺陷。通过对平面柔性单元进行理论分析，得到影响其整体性能的输入输出特性方程。并通过有限元方法分析了其静态输出性能。然后将其组合成双层的叠式空间结构，分析了双层式结构存在的问题及其原因，并在层数上对其结构进行了改进以克服出现的问题。