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根据管式PECVD设备反应室的环形进气方式和平面进气方式建立了几何模型,并进行了三维流场数值仿真分析,然后根据仿真结果对反应室结构进行了优化设计。数值仿真对PECVD设备反应室结构的优化设计及工艺调试具有重要的指导意义。
管式PECVD设备反应室结构的优化设计与数值仿真研究
【摘 要】
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根据管式PECVD设备反应室的环形进气方式和平面进气方式建立了几何模型,并进行了三维流场数值仿真分析,然后根据仿真结果对反应室结构进行了优化设计。数值仿真对PECVD设备反
【机 构】
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湖南红太阳光电科技有限公司
【出 处】
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太阳能
【发表日期】
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2020年4期
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