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采用溶胶-凝胶旋转包覆法在SiO2衬底上制备了CoxFe3-O4(x=0.2~0.8)钴铁氧体薄膜。样品的磁性、结构及表面形貌分别采用振动样品磁强计(VSM)、X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)进行测量与分析,并对Co0.8Fe2.2O4薄膜进行了高温结构和磁性原位测量。室温测量结果表明,随Co^2+含量增加,样品中的尖晶石相衍射峰逐渐增强,至x=0.8时样品形成单一的尖晶石结构,同时获得较高的磁性,矫顽力达到1.56×10^5A/m,并且薄膜的晶粒得到细化。高温原位测量结果表明,在