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概括介绍了国外MEMS技术的主要工艺、特点、市场及预测、研究发展方向 ,重点介绍了国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用。
国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用
【摘 要】
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概括介绍了国外MEMS技术的主要工艺、特点、市场及预测、研究发展方向 ,重点介绍了国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用。
【机 构】
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信息产业部电子第四十九研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2002年06期
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