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超微粒子系指1～100nm之间的粒子。由几个原子至10~5个原子组成的粒子称为原子团。原子团的超微粒子的表面原子数与其原子总数之比随粒子尺寸减小而增大,表面效应更趋明显;其量子效应与尺寸大小有明显依赖关系。它们有独特的物理和化学特性。近些年发展较快,各自成为新的学科领域。薄膜形成的初期会出现原子团,大多数情况是接着出现超微粒子。因此研究原子团和超微粒子的形成和生长也是薄膜研究的基础。本文对原子团和超微粒子作有选择的评述,对含有原子团和超微粒子的功能薄膜作简要的评论和介绍。