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热壁外延生长GaAs薄膜的结构特征

来源 :太阳能学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhanghui1860

【摘 要】

：

该文介绍以Si和SnO2/glass两种材料为衬底,采用热壁外延方法,制得GaAs多晶薄膜.采用电子探针(EPMA)测定薄膜的组分、表面与剖面形貌,x射线衍射(XRD)分析薄膜的结构情况.结果

【作 者】

：

涂洁磊 林理彬 陈庭金 章晨静 吴长树 施光顺 

【机 构】

：

四川大学物理系,四川大学物理系,云南师范大学太阳能研究所

【出 处】

：

太阳能学报

【发表日期】

：

2003年1期

【关键词】

：

太阳电池 GaAs薄膜 Si或SnO2/glass衬底 solar cell GaAs film Si or SnO2/glass substrate 

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论文部分内容阅读

该文介绍以Si和SnO2/glass两种材料为衬底,采用热壁外延方法,制得GaAs多晶薄膜.采用电子探针(EPMA)测定薄膜的组分、表面与剖面形貌,x射线衍射(XRD)分析薄膜的结构情况.结果表明该薄膜表面呈绒面结构、其晶粒为柱状结构,初步证明这种GaAs多晶薄膜有希望成为新一代廉价、高效太阳电池的候选材料.

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