中频反应磁控溅射制备Al2O3:CeCl3薄膜及其光致发光特性

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zuomingyu6
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应用中频反应磁控溅射技术制备了Al2O3:CeCl3的非晶薄膜。Ce^3+含量和薄膜的化学成分通过X射线散射能谱(EDS)测量。薄膜试样的晶体结构用X射线衍射分析。俄歇电子谱用于对薄膜材料的化学组分进行定性分析。薄膜的光致发光峰是在370nm到405nm范围内,它们来自于Ce^3+离子的5d^1激发态向基态4P的两个劈裂能级的跃迁。发光强度强烈地依赖于薄膜中的掺杂浓度和沉积时的基片温度。薄膜发光来自于氯化铈分子中的发光中心,而不是其他、的掺杂Ce^3+离子。随铈含量增加,光致发光峰向低能方向移动,可能与薄
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