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钟罩式高温烧结炉的温控技术
钟罩式高温烧结炉的温控技术
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rylqy
【摘 要】
:
本文介绍了采用自整定,自适应技术,使炉温得到有效控制的钟罩式高温烧结炉的温度控制方法。
【作 者】
:
彭志坚
【机 构】
:
电子部第48研究所,410111
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
温度控制
集成电路
封装
制作工艺
high temperature bell sintering furnace
temperature control
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本文介绍了采用自整定,自适应技术,使炉温得到有效控制的钟罩式高温烧结炉的温度控制方法。
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