【摘 要】
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日本东芝公司研制出一种能在一级净化室中工作的半导体晶片传输机器人。这种线性动作、纵向多结点机器人可应用于半导体工厂。在它的手尖部位安装有位置检测传感器,通用控制
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日本东芝公司研制出一种能在一级净化室中工作的半导体晶片传输机器人。这种线性动作、纵向多结点机器人可应用于半导体工厂。在它的手尖部位安装有位置检测传感器,通用控制器上集成有32bit CPU,有助于定位。
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