【摘 要】
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采用氮化铝基板进行功率负载制备，可满足微波系统对高散热的要求。本文详细介绍了氮化铝基板微波功率负载的设计、制备过程，比较了制作功率负载厚膜工艺和薄膜工艺的优缺点，并利用厚膜、薄膜相结合工艺制作了性能优良的功率负载产品。研制的氮化铝功率负载在工作频率2GHz以内，耐受功率可达到250W。各项性能指标都达到设计要求，同时分析并给出了各种环境试验条件对产品性能的影响。利用本文的研究，可实现高可靠性高功率
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采用氮化铝基板进行功率负载制备，可满足微波系统对高散热的要求。本文详细介绍了氮化铝基板微波功率负载的设计、制备过程，比较了制作功率负载厚膜工艺和薄膜工艺的优缺点，并利用厚膜、薄膜相结合工艺制作了性能优良的功率负载产品。研制的氮化铝功率负载在工作频率2GHz以内，耐受功率可达到250W。各项性能指标都达到设计要求，同时分析并给出了各种环境试验条件对产品性能的影响。利用本文的研究，可实现高可靠性高功率高散热性的氮化铝功率负载制备技术。
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