【摘 要】
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为提高垂直扫描白光干涉仪的测量精度，采用粗精双级控制结构分别单独控制对焦与垂直扫描两个过程。基于自动扫描技术驱动步进电机单轴驱动器完成对干涉区域的自动搜索；针对
【机 构】
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华侨大学机电及自动化学院, 福建厦门 361021
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为提高垂直扫描白光干涉仪的测量精度，采用粗精双级控制结构分别单独控制对焦与垂直扫描两个过程。基于自动扫描技术驱动步进电机单轴驱动器完成对干涉区域的自动搜索；针对压电陶瓷微位移器的非线性和迟滞特性，采用多项式拟合方法对其进行补偿修正。根据多项式拟合函数控制压电陶瓷驱动电压，驱动控制压电陶瓷微位移器在垂直方向的微位移。实验验证了控制方法的有效性，提高了垂直扫描白光干涉仪的测量精度，控制行程15μm，精度0.03μm。
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