压电陶瓷驱动微进给伺服控制系统设计

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本文介绍了作者最新研制的一种高精度压电陶瓷驱动微进给伺服控制系统,给出了系统的硬件组成及工作原理。 In this paper, the authors introduced a newly developed high-precision piezoelectric ceramic drive micro-feed servo control system, given the system hardware components and working principle.
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