论文部分内容阅读
硅是一种良好的近红外材料.硅光栅的发展迄今已有20多年历史,在制作方法和应用上都有了较大的发展.硅光栅的微加工工艺可以分为体硅工艺和面硅工艺,这些微加工方法在技术上与微电子及微机械工艺可以兼容.本文介绍了硅光栅的制作及其在不同领域的应用.
硅光棚的制作与应用
【摘 要】
：
硅是一种良好的近红外材料.硅光栅的发展迄今已有20多年历史,在制作方法和应用上都有了较大的发展.硅光栅的微加工工艺可以分为体硅工艺和面硅工艺,这些微加工方法在技术上与
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022;大连理工大学,辽宁,大连,116000
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
：
2002年2期
其他文献
Recommendation has become increasingly important because of the information overload. Collaborative filtering(CF) technique, as the most popular recommendation method, utilizes the historical preferen
An Enhanced Attribute Co-evolutionary Game Reduction Algorithm by Integrating Self-adaptive Multi-le
In order to further analyze the dynamical behavior of co-evolutionary populations in minimum attribute reduction, an Enhanced attribute co-evolutionary game red
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
As one of the essential information, passenger Origin-destination(OD) matrix is crucial for transit system planning. Automated fare collection(AFC) system is wi
低密度三聚磷酸钠的生产工艺分为两步法和附聚法。如果能在一个装置中 ,以不同的工艺条件生产不同密度的产品 ,显然是最经济 ,最有效的方法。笔者经过摸索 ,结合转炉一步法生
Design space exploration(DSE) is an important step before the physical level design of Field programmable gate arrays(FPGA). An optimum architecture is usually