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采用低衬底温度射频溅射的方法制得了低电阻率、高透过率的透明导电膜，沉积时的氧分压、衬底温度等对透明导电膜有很大的影响．衬底温度为室温时，制出了４．５×１０－４Ω·ｃｍ的透明导电膜．在彩色滤色膜或保护膜上沉积透明导电膜时，只能在低于它们的耐热温度以下，并注意排除有机膜吸附的气体．
用于液晶显示的透明导电膜
【摘 要】
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采用低衬底温度射频溅射的方法制得了低电阻率、高透过率的透明导电膜，沉积时的氧分压、衬底温度等对透明导电膜有很大的影响．衬底温度为室温时，制出了４．５×１０－４Ω·ｃｍ的透明导电膜．在彩色
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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1995年01期
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