汽车空/燃比控制用的TiO_2系厚膜氧传感器

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本文介绍了掺五价金属氧化物(M2O5)对TiO2氧敏材料电阻率的影响,测定了半导化后的TiO2材料不同温度下的氧敏特性,并讨论了其敏感机理.更多还原
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研究了硅悬臂梁的光致应变效应的基本理论.从力学和半导体物理学基本理论出发,考虑了光生载流子的空间分布以及载流子表面复合,提出了一种新的光致悬臂梁弯曲的模型和计算光致应变效应引起的悬臂梁弯曲量的方法.模型更为合理的解释了光致悬臂梁弯曲的根本动力,其计算结果和实验测量结果与文献报道相比更为接近.研究为基于光致应变效应的硅悬臂梁传感器打下了理论基础.
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