共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟

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【摘要】

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本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极(FEAs),它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成.采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹、相

【作者】

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杨崇峰曾葆青刘阳杨中海殷吉昊钱尚介

【机构】

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北京真空电子技术研究所,电子科技大学高能电子学研究所,电子科技大学高能电子学研究所,核工业西南物理研究院

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

2002年5期

【关键词】

：

共面双栅极 FEAs 真空微电子学结构金刚石薄膜计算机模拟场发射阵列阴极 Electron beamsField emission cathodes

【基金项目】

：

国家自然科学基金，国防科技重点实验室基金

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本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极(FEAs),它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成.采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹、相空间图和发射电流-电压等特性,并与只有栅极时的情况进行对比,表明反射极对电子注有会聚作用,能形成层流性良好的电子注,该结构可应用于场发射平面显示器等真空微电子器件中.

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