【摘 要】
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半导体工艺的持续进步得益于特征尺寸的不断缩小,而随着尺寸的不断缩小,部分工艺的尺寸已经达到物理加工的极限。使用应力技术提成载流子迁移率,在合适应力条件下可达到提升4
【机 构】
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国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心;
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半导体工艺的持续进步得益于特征尺寸的不断缩小,而随着尺寸的不断缩小,部分工艺的尺寸已经达到物理加工的极限。使用应力技术提成载流子迁移率,在合适应力条件下可达到提升40%。因此,在现今工艺中使用应力技术是一个强劲的工艺需求。本文主要利用现有资源,对应力技术在全球以及中国的专利申请量、申请人以及主要技术发展路线等进行统计和分析。这些统计和分析在一定程度上帮助技术人员了解该领域的发现状况。
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