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在现代科学技术快速发展中,半导体工艺技术由于自身涉及到众多学科,经过长期的发展和演变,对于半导体设备的更新换代做出了重大的贡献。本文就半导体工艺技术和半导体设备的关系进行客观阐述,坚持刻蚀设备为发展主线,探究两者之间潜在关系,对于半导体工艺技术和半导体设备可持续发展意义深远。
半导体工艺技术与半导体设备的关系
【摘 要】
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在现代科学技术快速发展中,半导体工艺技术由于自身涉及到众多学科,经过长期的发展和演变,对于半导体设备的更新换代做出了重大的贡献。本文就半导体工艺技术和半导体设备的
【机 构】
：
广东风华芯电科技股份有限公司;
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2018年S1期
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