【摘 要】
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碳纳米管制备敏感薄膜时往往会因其分散性差，无法保证纳米薄膜的均匀性，从而影响传感器的性能。使用N-甲基吡咯烷酮（NMP）与聚乙烯吡咯烷酮（PVP）作为分散剂对多壁碳纳米管进行表面活性处理，制备以多壁碳纳米管为湿敏材料的电阻型湿度传感器。传感器用微机电系统（MEMS）工艺制备叉指电极作为湿敏电阻，在100℃下将多壁碳纳米水溶液组装在电极上，使用原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）对湿敏薄
【基金项目】
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中央引导地方科技发展资金（YDZX20201400001664）； 山西省重点研发计划项目（202102030201001,202102030201009）；
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碳纳米管制备敏感薄膜时往往会因其分散性差，无法保证纳米薄膜的均匀性，从而影响传感器的性能。使用N-甲基吡咯烷酮（NMP）与聚乙烯吡咯烷酮（PVP）作为分散剂对多壁碳纳米管进行表面活性处理，制备以多壁碳纳米管为湿敏材料的电阻型湿度传感器。传感器用微机电系统（MEMS）工艺制备叉指电极作为湿敏电阻，在100℃下将多壁碳纳米水溶液组装在电极上，使用原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）对湿敏薄膜进行形貌表征。经测试，传感器线性度为0.998 06,灵敏度为42.999 23Ω/%,相对湿度20%～70%循环测试时响应时间为5 s,恢复时间为6 s,且传感器具有良好的重复性和稳定性。
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