三维微细电火花加工运动平台的误差模型建立

来源 :机械工程师 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fsch2000

【摘要】

：

随着计算机软、硬件技术的发展,误差补偿技术其性价比高、可靠性好等优点日益受到重视,通过合理的补偿,可使被加工零件的精度得到甚至超过数控加工机床本身的精度.文中介绍在

【作者】

：

杨国哲王立平郁鼎文崔巍

【机构】

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清华大学精密仪器与机械学系

【出处】

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机械工程师

【发表日期】

：

2006年6期

【关键词】

：

超精密运动平台运动控制微细电火花 ultra-precision stage motion control minuteness electric spa

【基金项目】

：

973国家重大基础研究计划项目（2003CB716204）

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随着计算机软、硬件技术的发展,误差补偿技术其性价比高、可靠性好等优点日益受到重视,通过合理的补偿,可使被加工零件的精度得到甚至超过数控加工机床本身的精度.文中介绍在国内外机床误差建模研究的基础上,根据三维大行程运动平台的几何特性,运用齐次矩阵变换,提出了基于“切点”误差的运动学综合空间误差数学模型,并在此基础上完成了三维微细电火花加工运动平台的误差补偿理论分析.

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