金刚石薄膜场发射进展

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【摘要】

：

评述了国际上金刚石薄膜场发射的研究进展和存在的问题．主要包括金刚石薄膜场发射现象、场发射的可能机制和改善场发射的措施 The research progress and existing problems

【作者】

：

黄庆安秦明章彬

【机构】

：

东南大学微电子中心

【出处】

：

物理

【发表日期】

：

1997年07期

【关键词】

：

场发射阴极真空微电子学金刚石薄膜负电子亲和势真空电子学杂质能级金刚石表面发射电流缺陷密度导带底

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评述了国际上金刚石薄膜场发射的研究进展和存在的问题．主要包括金刚石薄膜场发射现象、场发射的可能机制和改善场发射的措施 The research progress and existing problems of field emission of diamond film in the world are reviewed. Mainly including the field emission phenomenon of diamond film, possible mechanism of field emission and measures to improve field emission

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