【摘 要】
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KBA(即改进的KB)X射线显微镜是一个非共轴掠入射反射成像系统。它由一组互相垂直的球面反射镜组成。为了减少视场倾斜，提高成像质量，必须确定掠入射角和确定光阑的位置。因此编制了一套程序分析了他们对成像质量的影响。根据分析的结果我们设计了一套KBA显微镜系统，它是一种消像散系统，且使像面倾斜明显降低，在2 mm视场的范围内，分辨率可以达到5～7 μm。
【机 构】
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鲁东大学物理与电子工程学院，山东烟台264025鲁东大学交通学院，山东烟台264025
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KBA(即改进的KB)X射线显微镜是一个非共轴掠入射反射成像系统。它由一组互相垂直的球面反射镜组成。为了减少视场倾斜，提高成像质量，必须确定掠入射角和确定光阑的位置。因此编制了一套程序分析了他们对成像质量的影响。根据分析的结果我们设计了一套KBA显微镜系统，它是一种消像散系统，且使像面倾斜明显降低，在2 mm视场的范围内，分辨率可以达到5～7 μm。
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