【摘 要】
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大尺寸高密度ITO靶材是我国当前的“卡脖子”技术,现有镀膜生产线对ITO靶材的相对密度要求达到99.7％以上,而ITO靶材在烧结初期的致密化过程对高密度ITO靶材的烧结至关重要.本研究着重对ITO靶材烧结初期的致密化过程进行了探讨,分析了喷雾造粒粉体的松装密度、生坯密度、烧结温度等对ITO靶材烧结初期致密化过程的影响.
【机 构】
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广西中沛光电科技有限公司,广西来宾 546100;电子信息材料与器件教育部工程研究中心,广西电子信息材料构效关系重点实验室,桂林电子科技大学,广西桂林 541004
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大尺寸高密度ITO靶材是我国当前的“卡脖子”技术,现有镀膜生产线对ITO靶材的相对密度要求达到99.7％以上,而ITO靶材在烧结初期的致密化过程对高密度ITO靶材的烧结至关重要.本研究着重对ITO靶材烧结初期的致密化过程进行了探讨,分析了喷雾造粒粉体的松装密度、生坯密度、烧结温度等对ITO靶材烧结初期致密化过程的影响.
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