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"突陷"现象严重影响着MEMS微梁性能.根据Hamaker微观连续介质修正理论,建立了MEMS微梁同基座粘附力包含斥力的数学模型;分析了微梁的静力平衡关系,发现引起微梁"突陷"的本质是弹性力同粘附力的不稳定平衡问题;通过增加微梁刚度,提出一种控制微梁"突陷"发生的方法,并给出仿真结果.
MEMS微梁粘附“突陷”静力分析
【摘 要】
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"突陷"现象严重影响着MEMS微梁性能.根据Hamaker微观连续介质修正理论,建立了MEMS微梁同基座粘附力包含斥力的数学模型;分析了微梁的静力平衡关系,发现引起微梁"突陷"的本质
【机 构】
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西安电子科技大学机电工程学院
【出 处】
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机械科学与技术
【发表日期】
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2005年1期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)，西安电子科技大学校科研和教改项目
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