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钛酸钡（ＢａＴｉＯ３，ＢＴ）是钙钛矿结构的铁电晶体，它具有优良的电光和非线性光学性质。用它制成的铁电薄膜在高密度的动态存储器和非易失性铁电随机存储器，介电薄膜，电光等器件有重大的实用前景。为此，人们采用诸如磁控溅射（Ｓｐｕｔｅｒｉｎｇ），金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ），分子束外延（ＭＢＥ），溶胶—凝胶（Ｓｏｌｇｅｌ）以及脉冲激光淀积（ＰＬＤ）等方法来制备ＢＴ薄膜。而ＰＬＤ由於具有可在氧气中原位生长薄膜，保持靶材的化学配比和成膜速率快等优点而被认为是制备多组分氧化物薄膜的最好方法之一。新近，我们首次