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运用硅平面工艺和MEMS微机械加工工艺技术，设计采用了单岛膜结构及其数学模型，开发汽车轮胎压力监测专用传感器IC芯片，用于TPMS系统；本文提出了汽车轮胎压力传感器芯片新的设计数学模型、方法和结构，测试分析其参数性能指标，经过结构转化及应用研究表明拓展功能和应用范围的必要性和可行性。
汽车轮胎压力传感器芯片与应用
【摘 要】
：
运用硅平面工艺和MEMS微机械加工工艺技术，设计采用了单岛膜结构及其数学模型，开发汽车轮胎压力监测专用传感器IC芯片，用于TPMS系统；本文提出了汽车轮胎压力传感器芯片新的设计数
【机 构】
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天津大学
【出 处】
：
电子产品世界
【发表日期】
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2008年2期
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