【摘 要】
：
以SF6和O2为反应气体,采用反应离子刻蚀（RIE）技术,在单晶硅衬底表面制备了锥型绒面结构,系统地研究了关键刻蚀条件对RIE晶硅表面制绒的影响。结果表明,随着反应气压增大,晶体硅
论文部分内容阅读
以SF6和O2为反应气体,采用反应离子刻蚀（RIE）技术,在单晶硅衬底表面制备了锥型绒面结构,系统地研究了关键刻蚀条件对RIE晶硅表面制绒的影响。结果表明,随着反应气压增大,晶体硅表面锥型结构呈现分布均匀和高度增加的趋势,但过高气压下锥型微结构向脊型转变直至消失。在反应气体中掺入CH4,晶体硅表面锥型结构高度增加,表面平均反射率下降到5.63%。该结果可解释为：气压增大导致的F原子刻蚀的增强有利于锥体结构高度增加,小尺寸的Si OyFx聚合物掩模的完全刻蚀使锥型结构的尺寸逐渐均匀,而过高的气压下,掩模及晶
其他文献
绿原酸类化合物是金银花的主要有效成分,包括绿原酸和异绿原酸,本文主要阐述了绿原酸的生物活性、提取工艺等进展情况,对金银花绿原酸产品进一步研究开发具有借鉴意义。
采用溶胶-凝胶法结合旋涂工艺在单晶硅（111）上制备了Tb^3＋离子不同掺杂浓度的硅酸镥光学薄膜（Tb∶Lu2SiO5）,利用热重差热分析（TG-DSC）、X射线衍射（XRD）、傅里叶红外光谱仪（FTIR）、原子力
随着硅晶片薄型化发展，减少硅晶片厚度已成为降低芯片制造成本的重要措施。但在硅晶片制造加工过程中，许多因素制约了其减薄。针对硅晶片减薄问题，总结分析了制约硅晶片减薄因素
设计出PBN内衬的逐层减压石英生长安瓿,采用改进的垂直布里奇曼法,获得了完整无开裂的CdSiP2晶体,尺寸达15mm×65mm。采用高分辨X射线衍射、扫描电子显微镜和X射线能谱
十二指肠胃肠道间质瘤(gastrointestinal stromal tumors,GISTs)是起源于消化道卡哈尔间质细胞(interstitial cells of Cajal,ICCs)一种少见的亚群。虽然影像学、内镜技术和
对江苏省靖江地区1999～2000年6160名围产儿中的出生缺陷儿进行分类,分析其发生原因,发现孕妇接触放射线、农药及病毒性感冒、感染、使用抗生素等因素可引起新生儿缺陷,并提出
提出了一种测量晶体电光系数的简易方法,即在近光轴电光调制的基础上,通过采用散射程度合适的毛玻璃,同时获得了透射光点和锥光干涉图样。根据透射光点在锥光干涉图样中的位