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椭偏法测定TiO2薄膜的光学常数
椭偏法测定TiO2薄膜的光学常数
来源 :郧阳师范高等专科学校学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mytony
【摘 要】
:
详细介绍了使用椭偏仪测定薄膜的光学常数的原理,采用溶胶一凝胶法在普通载玻片上制备了均匀透明的TiO2薄膜,借助椭偏仪测量了薄膜的光学特性.
【作 者】
:
杨修文
王明秋
王金伟
【机 构】
:
郧阳师范高等专科学校物理与电子工程系
【出 处】
:
郧阳师范高等专科学校学报
【发表日期】
:
2011年3期
【关键词】
:
椭偏测量
光学薄膜
TIO2薄膜
ellipsometry measurement optical film TiO2 film
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详细介绍了使用椭偏仪测定薄膜的光学常数的原理,采用溶胶一凝胶法在普通载玻片上制备了均匀透明的TiO2薄膜,借助椭偏仪测量了薄膜的光学特性.
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