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针对治理大气中有害物质挥发性有机物(VOCs),阐述并归纳了吸附、冷凝、燃烧、光催化等现有处理技术中的工艺特点,介绍了目前典型技术中极具有研究前景及应用价值的低温等离子体净化技术的工艺原理及研究进展,综述了低温等离子体催化协同技术的催化剂分类及放置方式,重点突出催化协同对处理效果的优化作用,指出了今后低温等离子体催化协同处理挥发性有机物的可能发展方向。