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采用新型等离子浸没离子注入和沉积（PIIID）法以C2H2为等离子源对NiTi合金进行表面改性。利用Raman光谱分析膜层结构；采用纳米压痕和光电子能谱（XPS）分析涂层前后NiTi合金的表面力学性能和表面成分，利用电化学阻抗谱和动电极化测试涂层前后基体的耐腐蚀性能。结果表明：NiTi合金表面的膜层是DLC：经过PIIID处理后，基体表面由原先的TiOz转变为DLC；纳米硬度和杨式模量得到提高；耐腐蚀性能获得明显改善。