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详尽地分析了ＶＰＳ６０型溅射离子泵电源电路的工作原理将原电路事理简化为电源供给及高压测量电路，泵电流及泵真空压力测量电路、保护系统及遥控电路三大部分。
VPS60型溅射离子泵电源电路剖析
【摘 要】
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详尽地分析了ＶＰＳ６０型溅射离子泵电源电路的工作原理将原电路事理简化为电源供给及高压测量电路，泵电流及泵真空压力测量电路、保护系统及遥控电路三大部分。
【机 构】
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电子科技大学材料分析中心,遂宁市安居职中
【出 处】
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四川轻化工学院学报
【发表日期】
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1999年4期
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