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存在于（Ｐｔ及其硅化物）／Ｓｉ界面的深能级缺陷常常会影响器件的性能。本文主要讨论氢等离子体对（Ｐｔ及其硅化物）／Ｓｉ界面深能级杂质缺陷的钝化作用及对其Ｓｃｈｏｔｔｋｙ势垒的影响。
氢等离子体对（Pt及其硅化物）／Si界面的杂质／缺陷态和势垒的影响
【摘 要】
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存在于（Ｐｔ及其硅化物）／Ｓｉ界面的深能级缺陷常常会影响器件的性能。本文主要讨论氢等离子体对（Ｐｔ及其硅化物）／Ｓｉ界面深能级杂质缺陷的钝化作用及对其Ｓｃｈｏｔｔｋｙ势垒的影响。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所表面物理国家重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1994年6期
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