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研究了激光切割对CVD金刚石膜三点弯曲断裂强度和热导率的影响。选择合适的激光切割电压和切割速度可以避免这种激光损伤并给出了判断该切割电压和切割速度是否合适的方法。
激光切割对金刚石膜性能的影响
【摘 要】
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研究了激光切割对CVD金刚石膜三点弯曲断裂强度和热导率的影响。选择合适的激光切割电压和切割速度可以避免这种激光损伤并给出了判断该切割电压和切割速度是否合适的方法。
【机 构】
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河北省科学院激光研究所
【出 处】
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河北省科学院学报
【发表日期】
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2004年3期
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