【摘 要】
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本厂生产的 GP系列和 JG系列它激式晶控 13.5 6 MHz高频等离子电源和脉冲电源、直流溅射电源均广泛应用于真空室内等离子体改性、聚合、分析、气体沉积、磁控溅射镀膜和等离
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本厂生产的 GP系列和 JG系列它激式晶控 13.5 6 MHz高频等离子电源和脉冲电源、直流溅射电源均广泛应用于真空室内等离子体改性、聚合、分析、气体沉积、磁控溅射镀膜和等离子体表面处理等科研及工业领域。我厂生产的它激式高频等离子电源 ,有近 30年历史 ,国内近百家大学、科
Our GP series and JG series are excited crystal plasma 13.5 13.5 MHz power supply and pulse power supply, DC sputtering power supply are widely used in the plasma chamber plasma modification, polymerization, analysis, gas deposition, magnetron sputtering Coating and plasma surface treatment and other scientific research and industrial fields. I plant its excitation type high-frequency plasma power supply, nearly 30 years of history, nearly 100 domestic universities, Section
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