（Si,Er）双注入单晶硅近红外光发射

来源 :北京师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xieke594112

【摘要】

：

利用金属蒸气真空弧离子源,将硅和铒离子先后注入到单晶硅中,经快速退火制备出(Si,Er)双注入单晶硅发光薄膜.RBS分析表明铒原子分数接近10%,即原子浓度约1021 cm-3.XRD分析发

【作者】

：

徐飞肖志松张通和程国安易仲珍曾宇昕顾岚岚

【机构】

：

北京师范大学低能核物理研究所,南昌大学材料科学与工程系,复旦大学

【出处】

：

北京师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

离子注入双注入铒掺杂光发射单晶硅 erbium ion implantation photoluminescence

【基金项目】

：

国家自然科学基金，复旦大学校科研和教改项目

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用金属蒸气真空弧离子源,将硅和铒离子先后注入到单晶硅中,经快速退火制备出(Si,Er)双注入单晶硅发光薄膜.RBS分析表明铒原子分数接近10%,即原子浓度约1021 cm-3.XRD分析发现,随着Er注量增加,退火态样品中ErSi2相增多.显微结构分析表明,注量条件影响辐照损伤程度、物相变化和表面显微形貌.而这些结构变化将直接决定了(Si,Er)双注入单晶硅发光薄膜近红外区光致发光.

其他文献

皮肤经络的形态学基础——交感物质分布线和毛线环路

我们过去把经络分为血管性经络与非血管性经络两大类型[1-2]，非血管经络是存在于皮肤中的主要的针刺信号传递通路，称之为皮肤信息通路[3]。

期刊

皮肤经络形态学交感物质分布线毛线环路立毛肌交感神经皮肤信息通路宏观放射自影法skin arrector pili muscle pilomo

受驱动logistic映射倍环面分岔机制及标度关系

给出了受驱动logistic映射的倍环面分岔数p与驱动频率ω之间的标度关系，并详细讨论了系统参数对环面分岔的影响，获得了环面的倍分岔中断机制及标度率.

期刊

受迫logistic映射标度关系混沌运动倍环面分岔数驱动频率环面倍分岔中断机制标度率forced logistic map scaling la

（Si,Er）双注入单晶硅近红外光发射

其他学术论文