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应变硅已成为延伸摩尔定律(Moore’s Law)的重要技术手段之一。综述了应变硅技术的发展及趋势。首先,从物理理论上分析了应变对硅沟道迁移率的影响;然后介绍了现有的各种应变硅技术;最后,分析了应变硅技术的发展趋势。
延伸摩尔定律的应变硅技术
【摘 要】
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应变硅已成为延伸摩尔定律(Moore’s Law)的重要技术手段之一。综述了应变硅技术的发展及趋势。首先,从物理理论上分析了应变对硅沟道迁移率的影响;然后介绍了现有的各种应变
【机 构】
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清华大学微电子学研究所,清华信息科学与技术国家实验室筹
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2008年01期
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