【摘 要】
：
通过磁控溅射法在硅基材上制备了不同基底温度的TaMo和TaMoAl涂层,用原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)研究了加入第三组元Al元素的情况下,TaMo涂层的表面形貌和组织结构,
【机 构】
：
上海工程技术大学基础教学学院,上海工程技术大学材料工程学院,
论文部分内容阅读
通过磁控溅射法在硅基材上制备了不同基底温度的TaMo和TaMoAl涂层,用原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)研究了加入第三组元Al元素的情况下,TaMo涂层的表面形貌和组织结构,用显微硬度计和划痕试验仪测试了涂层的显微硬度和膜基结合力等力学性能。结果表明,两种基底温度工艺下铝元素的加入对TaMo涂层的组织结构和表面形貌均有显著影响。另外,在350℃的基底加热工艺下铝元素的加入提高了TaMo涂层的显微硬度和膜基结合力。
The TaMo and TaMoAl coatings with different substrate temperatures were prepared by magnetron sputtering on Si substrate. The addition of the third element Al was studied by atomic force microscopy (AFM) and X-ray diffraction (XRD) TaMo coating surface morphology and microstructure, with a microhardness tester and scratch tester test the coating hardness and film-based adhesion and other mechanical properties. The results show that the addition of aluminum element has a significant effect on the microstructure and surface morphology of TaMo coating under the two substrate temperature processes. In addition, the addition of aluminum to the base heating at 350 ° C increases the microhardness and film-based adhesion of the TaMo coating.
其他文献
用熔体搅拌铸造法制备了硅相增强ZA40复合材料,研究了硅含量对该复合材料的密度、硬度、金相组织和性能的影响,并通过高温高速磨损试验机测量了该复合材料的耐磨性。结果表明
笔者自１９９５年以来，以中药内服，局部药物离子导入加骨盆牵引法治疗腰椎间盘突出症３２例，收到满意疗效，现报告如下：１临床资料１．１一般资料：３２例患者中，男性３０例，女性２例；年龄２５～４０岁，平均３４岁；病程３～１０ｄ。均有扭伤史且以
随着新课改的纵深推进,一些行走在课改前沿的教师不仅自己精心设计课堂提问,而且竭力鼓励学生质疑,并且以学生的问题作为展开教学、研读文本的抓手,可见课堂提问“源于学生”
2015年年初,正当金融危机阴影笼罩全球,欧美许多国家领导人都在绞尽脑汁缩减开支之际,有一位亚洲的国家元首却在上台伊始,大笔一挥,拨款三百二十多亿美元(约二千亿元人民币),
张佳宁说：“在亲情面前，金钱真的不重要。但正因如此，才要努力赚钱。”这听起来矛盾的语句却饱含了她对于财富和亲情的理解，她的故事是这个“矛盾”最好的注解。 她是《媳妇的美好时代》中可爱执著的潘美丽，她是《创业年代》中敢爱敢恨的禾禾，她是《青年医生》中呆萌清纯的艾小天……她，就是张佳宁。 联系到张佳宁的时候，她已进入电视剧《江城警事》剧组，性情率真的她让人不禁联想起近期热播剧《青年医生》中她所扮演
李林（1915—1940），原名李秀若，福建龙溪人，出生于一个贫苦农民家庭。3岁随养母侨居印度尼西亚，14岁华侨学校毕业后回国，在上海爱国女中求学。 1936年春，李林参加了上海党的外围组织抗日救亡青年团，并改名为李林。1936年12月，加入中国共产党。12月底，李林到达太原，进入薄一波领导的军政训练班学习，并在学员中开展党的工作。 1937年抗日战争爆发后，李林毅然投笔从戎，到晋绥边区抗日根
三晋一代绘画大师赵延绪（字缵之）与先父刘石生（字子坚）交情甚笃，他们相识于上世纪三十年代。 中原大战阎锡山联冯倒蒋失败后避居大连，1931年潜回山西。随后九一八事变，蒋与阎捐弃前嫌，握手言和。翌年，蒋任阎为太原绥靖公署主任。其时，先父在阎身边工作。阎为取得蒋的谅解，故作姿态，提出“造产救国”的口号，起草拟定《山西省政十年建设计划案》，放言专心地方建设，以此麻痹蒋对自己的不信任与威胁。 九一八事
相会强,男,1974年10月生,河北新乐人。住建部高等学校高职高专土建类专业教学指导委员会市政工程类专业分委员会委员。1997年7月毕业于河北建筑工程学院给水排水工程专业,获
我科于１９９５～１９９８年用中西医结合方法治疗高黄胆型肝炎６８例，取得良好效果，现报告如下。１ 临床资料１－１ 一般资料 我科于１９９５～１９９８年收治黄疸重型肝炎患者１３６例。其中急性黄疸型肝炎７２例，慢性病毒性肝炎（重度）１６例
如果你最后一次参加求职面试是在五年或更长的时间以前,那么当你重新进入就业市场时,你一定会大吃一惊。求职面试已经不再是舒适温馨的炉边闲谈了;当然,倒也不会走向另一个