【摘 要】
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利用介质阻挡放电等离子体化学气相沉积技术,在蒸镀有25nmNi催化剂层的Si基片上,以CH4和H2作为反应气体,在973K下制备了碳纳米管,并研究了微量水的引入对碳纳米管形貌的影响.
【机 构】
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北京印刷学院等离子体物理与材料研究室,北京印刷学院等离子体物理与材料研究室,北京印刷学院等离子体物理与材料研究室,北京印刷学院等离子体物理与材料研究室,北京印刷学院等离子体物理与材料研究室 北京102
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利用介质阻挡放电等离子体化学气相沉积技术,在蒸镀有25nmNi催化剂层的Si基片上,以CH4和H2作为反应气体,在973K下制备了碳纳米管,并研究了微量水的引入对碳纳米管形貌的影响.场发射扫描电子显微镜结果表明,不加水时,制备出的碳纳米管直径不均匀,分布在40—90nm之间,呈链节状的结构;加入少量水时,制备出的碳纳米管直径比较均匀,集中在70nm左右,表面为瘤状结构;当水的流量进一步增加时,得到的碳纳米管表面光滑,出现了枝状结构.原位测量了加水前后等离子体区的发射光谱,分析了微量水的引入对于碳纳米管形貌变化的影响机理.
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