论文部分内容阅读
六氟丁二烯（C4F6）是一种新型的含氟电子气体,具有极其优越的蚀刻性能,且对环境友好。本文章首先介绍了C4F6的物理性质和蚀刻特点,进而论述了我国及国外六氟丁二烯纯化技术的发展现状,为我国的C4F6纯化技术提供一定的理论依据。
高纯电子特气六氟丁二烯纯化技术的发展
【摘 要】
：
六氟丁二烯（C4F6）是一种新型的含氟电子气体,具有极其优越的蚀刻性能,且对环境友好。本文章首先介绍了C4F6的物理性质和蚀刻特点,进而论述了我国及国外六氟丁二烯纯化技术的发展现状,为我国的C4F6纯化技术提供一定的理论依据。
【机 构】
：
中国船舶重工集团公司第七一八研究所
【出 处】
：
化学工程与装备
【发表日期】
：
2020年12期
【基金项目】
：
河北省省级科技计划资助项目,专项名称:新兴产业前沿技术开发,专项项目名称:高纯电子气体六氟丁二烯的研发（项目编号18211402D）；
其他文献
＜正＞新课程理念强调数学教学对学生数学应用能力的培养,要求教师创新教学方法,重视从实际问题出发进行数学应用。基于此,教师需要构建数学与生活之间的联系,引导学生应用所学知识解决实际问题。因此,本文从例题讲评、数量关系、互动探究、变式训练四个层面对如何提高初中生的数学应用能力展开探讨。初中数学课堂既需要教师传授数学知识,还需要培养学生的数学应用意识,进一步实现学生对所学知识的有效内化。所以,在学习"用
期刊
列方程解决问题是培养学生建模能力的重要内容之一，其目的是以数学问题为载体，聚焦模型的建构，培养学生建模能力.但目前很多应用题教学却演变成了习题解答，对解决问题的思考方式关注度不够.结合具体的教学内容，旨在让学生感悟方程的本质，解决思维上的障碍节点，拓展学生创新思维.
＜正＞《动态》：根据凯美特气近日公告，公司光刻气产品获得ASML认证。请问认证通过将为公司带来何种影响？孔铭：根据公告，凯美特气控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司光刻气产品获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证函。ASML子公司Cymer是世界领先的准分子激光源提供商，是深紫外（DUV）技术的行业领导者。Cymer公司发明、开发、制造并且服务深紫外光源，其是如今半导体制造中最关键
期刊
在当代中国社会变迁与国家转型的背景下,司法资源与社会纠纷之间的矛盾依然突出。实施诉前调解制度,有助于推动纠纷在诉前分流、实现解纷资源的再分配、促成纠纷平和而低成本地解决。通过文献分析法对诉前调解制度产生的背景、发展沿革进行梳理,诉前调解的理论基础尚存在争议。以A省F市为样本,通过实地访谈、问卷调查等实证研究方法得出:诉前调解普遍适用于多种类型的纠纷且呈现泛化趋势;各个法院虽组建有专门的诉前调解队伍
随着新一轮学校课程改革的推进，新课程改革与高考改革的衔接成为社会讨论的焦点。从教育现状来看，如果考试功能使用得当，可以促进教育的发展。高考也是如此，高考在中国教育教学中起着主导作用，如果高考运用得当，可以推动高中教育新课程的实施。
近年来,随着人工智能和机器视觉的发展,多模图像的机器学习分类和检测在临床医学辅助诊断领域获得了长足的应用。但由于医学图像成像质量不高,边界模糊;标记样本不足,训练样本缺乏;多模图像融合困难等原因,使得其医学图像分类在准确度、泛化能力以及系统鲁棒性等方面的问题日益突出。一些学者从深度学习的网络模型和特征融合方面对多模医学图像分类进行了研究,这些研究一定程度上提升了分类性能,但仍然面临一些关键问题需要
高铁接触网工作环境复杂,若发生故障,将影响行车安全。因此,应检测接触网零部件工作状态,确保其正常运行。随着高铁技术迅猛发展,传统接触网零部件状态检测方法无法满足检测系统的准确率、效率及稳定性要求。本文研究一种基于图像处理技术的非接触式检测策略对接触网零部件工作状态进行检测。该策略针对武广高铁所采集的部分接触网图像受外界环境影响含有噪声、对比度较低的特点,首先通过对图像去噪以及图像增强等预处理。接着
＜正＞投资要点未来3-5年,半导体特气行业增速将加快,复合增速很可能达到20-30%。电子气体广泛应用于半导体制造的各个工艺流程,常用于化学气相沉积、离子注入、光刻胶印刷、扩散、刻蚀及参杂等。电子气体的提纯、储运及纯度检测是高质量产品的核心技术。从全球角度来看,国际前五大气体龙头依旧以工业气体为主要营收业务（营收占比超过80%）,
期刊
对建筑结构进行设计时，相关设计人员必须对建筑物使用的功能进行综合考虑，尽可能规避因为建筑结构设计不合理而存在安全隐患，因此，需要对建筑结构设计的可靠度影响的因素进行深入研究。首先对建筑结构的可靠度进行分析，论述建筑结构的可靠度设计需要遵循的相应原则，分析对建筑结构的可靠度产生影响的主要因素，最后提出提升建筑结构可靠度的相关措施，从而提升建筑物的安全性与耐久性。