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微位移工作台静、动态特性实验系统
微位移工作台静、动态特性实验系统
来源 :实验技术与管理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:smxsnjzch
【摘 要】
:
采用柔性铰链精密工作台、电致伸缩微位移器驱动、微机控制方案,对精密微动工作台的静、动态特性进行测试,本文阐述了该系统的原理及其测试方法,给出了实验结果,提高了教学实
【作 者】
:
于水
李庆祥
白立芬
【机 构】
:
清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
:
实验技术与管理
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
特性测试
微机控制
微位移工作台
柔性铰链
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采用柔性铰链精密工作台、电致伸缩微位移器驱动、微机控制方案,对精密微动工作台的静、动态特性进行测试,本文阐述了该系统的原理及其测试方法,给出了实验结果,提高了教学实验水平.
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