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电致变色热控器件ITO膜层的制备与研究
电致变色热控器件ITO膜层的制备与研究
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:peterchill
【摘 要】
:
针对电致变色热控器件的透明导电层开展了ITO薄膜的制备工艺研究,对薄膜制备过程中的几个主要影响因素(溅射压力、氩/氧比例、退火温度等)进行了分析,并测试了薄膜性能,制备的ITO薄
【作 者】
:
王洁冰
何延春
许旻
邱家稳
吴春华
赵印中
【机 构】
:
兰州物理研究所
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
2008年1期
【关键词】
:
电致变色器件
ITO薄膜
制备工艺
electrochromic divece ITO preparation technology
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针对电致变色热控器件的透明导电层开展了ITO薄膜的制备工艺研究,对薄膜制备过程中的几个主要影响因素(溅射压力、氩/氧比例、退火温度等)进行了分析,并测试了薄膜性能,制备的ITO薄膜电阻在100-120Ω/cm左右,在太阳光谱范围的吸收率小于5%,可以满足电致变色器件对透明导电层的要求。
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