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结合自组装薄膜技术在处理为亲水的单晶硅表面成功制备了稀土钐(Sm)自组装润滑薄膜,利用原子力显微镜(AFM),X射线光电子能谱分析(XPS),摩擦磨损试验机(UMT-2)对其表面形貌结构和摩擦学性能进行表征分析。研究结果表明,利用该方法制备的稀土钐(Sm)自组装润滑薄膜的摩擦因数为0.035～0.045,远低于硅片摩擦因数(0.5～0.6),并且具有较长的耐磨寿命(0.5N载荷下,耐磨寿命长达10万次以上)。