【摘 要】
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N＋缓冲层设计对PT-IGBT器件特性的影响至关重要。文中利用Silvaco软件对PT-IGBT的I—V特性进行仿真。提取相同电流密度下，不同N＋缓冲层掺杂浓度PT—IGBT的通态压降，得到了通态压
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N＋缓冲层设计对PT-IGBT器件特性的影响至关重要。文中利用Silvaco软件对PT-IGBT的I—V特性进行仿真。提取相同电流密度下，不同N＋缓冲层掺杂浓度PT—IGBT的通态压降，得到了通态压降随N＋缓冲层掺杂浓度变化的曲线，该仿真结果与理论分析一致。对于PT-IGBT结构，N＋缓冲层浓度及厚度存在最优值，只要合理的选取可以有效地降低通态压降。
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