溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜及其结构与光学性能分析

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以Zn(CH3COO)2·2H2O和Al(NO3)3·9H2O为主要原料,采用溶胶一凝胶法结合旋涂工艺以ITO玻璃为衬底制备获得掺Al型氧化锌透明导电薄膜(Zn2Al0.6O)。分别采用XRD和分光光度计测试分析了所制各薄膜的结构和透射光谱,并计算了薄膜的平均晶粒尺寸和光学带隙。结果表明,所制备薄膜为ZAO薄膜:薄膜平均晶粒尺寸为24.715nm;其光学带隙为4.03eV;在可见光范围内的平均透射率为75.3%。
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