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【摘 要】
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为了推动微加工和微机械技术的进步 ,微型零件轮廓和尺度测量方法的发展非常重要 .可行方法之一就是使用带微探头的小型三维轮廓测量仪 .这种仪器的探头必须针对某个零件的测
【机 构】
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日本桥石公司,日本庆应大学机械工程系 244—8510,日本,233—8522,日本
【出 处】
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纳米技术与精密工程
【发表日期】
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2004年02期
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