IC工艺技术研究生教学创新实例设计研究

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创新实践教学对集成电路(IC)专业研究生人才培养极其重要.文章根据CMOS图像传感器像素与NMOS器件在结构上的相似性,通过科教融合设计了创新实例用于IC工艺技术课的研究生教学,取得了较好的效果.该教学改革一方面激发了学生的学习兴趣、调动了他们自主学习该课的积极性,另一方面在创新实践教学中加深了学生对该课基础知识的理解,培养了他们的创新实践能力.
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